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提纯硅废料制备高纯硅的方法

934   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明涉及一种提纯硅废料制备高纯硅的方法,以含硅90%以上的块状的单晶硅尾料或埚底料作为原料,进行真空蒸发及定向冷凝精炼提纯处理,首先加热到原料的熔点以上,在真空状态下保温进行真空蒸发,去除易挥发的杂质,然后再拉伸冷却进行真空定向冷凝精炼提纯处理,使得金属杂质富集于一端,既除去了非金属杂质,又除去了金属杂质,制备得纯度在99.999%以上的高纯硅。
声明：
“提纯硅废料制备高纯硅的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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