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方法、涂覆装置和处理设备

864   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明涉及一种方法、一种涂覆装置和一种处理设备。根据实施方案的不同形式，方法(100)可包括以下步骤：在涂覆区域(803)和收集区域(805)中产生真空；以第一主传播方向(102e)发射固体颗粒穿过涂覆区域(803)进入收集区域(805)；以第二主传播方向(104e)蒸发涂覆材料进入涂覆区域(803)，其中第一主传播方向(102e)和第二主传播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸发绕过收集区域(805)。
声明：
“方法、涂覆装置和处理设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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