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连续制备高纯金属铸锭的方法

1034   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明涉及一种连续制备重量纯度≥99.999%的金属铸锭的方法。该方法的工艺步骤包括：（1）将重量纯度≥99.999%的金属物料装炉、抽真空至10-3Pa以上；（2）连续进料装置将步骤（1）的物料送入水冷坩埚中；（3）以电磁感应熔炼的方式对水冷坩埚中的金属物料进行熔炼；（4）经步骤（3）熔炼后得到的熔体进入设置在水冷坩埚下方的水冷结晶器中，成型得到高纯金属铸锭。本发明采用水冷铜坩埚感应熔炼与水冷结晶器成型结合，同时采用连续进料装置，能够实现连续铸锭生产、提高效率，所制备的高纯金属铸锭，具有纯度高，铸锭物理性能好、成材率高、产品规格多样化等优点，满足集成电路对于高端薄膜制备的性能要求。
声明：
“连续制备高纯金属铸锭的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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