本发明提供了一种含有缺陷的碳化硅素坯及其制备方法、无损检测方法,该碳化硅素坯的制备方法包括以下步骤:在制备碳化硅生坯过程中加入固态有机物,并进行成型;对成型后的碳化硅坯体进行加热处理以使固态有机物分解,即得到含有缺陷的碳化硅素坯。本发明在制备碳化硅生坯过程中加入固态有机物,并利用高温加热处理,使固态有机物分解成气体从而将其除去,这样之后在碳化硅坯体中固态有机物的位置便会残留一定的缺陷,该缺陷的形状大小以及数量均可控,同时添加的有机物会在高温处理过程中除掉,并且不会引入新的杂质;通过该方法可以在碳化硅素坯内部留下缺陷,操作简便,可操作性强,有利于后期无损检测工作的进行。
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