本发明公开了一种具有复合吸液芯结构的超薄均热板及其制作方法,包括蒸发板和冷凝板,在蒸发板的内表面上设置有凹腔,凹腔内设置有第一毛细结构和第二毛细结构;所述第一毛细结构是与蒸发板一体加工的微通道槽道结构,第二毛细结构为通过烧结成型的多孔金属结构;在冷凝板的内表面上设置有第三毛细结构,第三毛细结构是具有发射状的圆周阵列微通道;本发明的制作方法包括蒸发板凹腔及第一毛细结构一体加工,第二毛细结构烧结,冷凝板加工,清洗及密封焊接以及抽真空注液。本发明的具有复合吸液芯结构的均热板具有厚度薄,渗透率大,支撑强度大,散热效率高,可逆重力的特点。
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