本发明涉及一种氧化铌旋转靶材及其制备方法,其制备方法包括:氧化铌喷涂粉的制备,喷涂基体的处理,喷涂打底层,用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉。通过本发明方法制备的氧化铌旋转靶材结构致密、成分均匀,无裂纹,其喷涂长度和直径不受限制,厚度可达到12mm;密度为4.6—5.2g/cm3,靶的成分为Nb2O4.3-4.9。本发明方法生产过程简单便捷,成本较低。
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