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氧化铌旋转靶材及其制备方法

810   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 15:01:01
本发明涉及一种氧化铌旋转靶材及其制备方法，其制备方法包括：氧化铌喷涂粉的制备，喷涂基体的处理，喷涂打底层，用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉。通过本发明方法制备的氧化铌旋转靶材结构致密、成分均匀，无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚度可达到12mm；密度为4.6—5.2g/cm3，靶的成分为Nb2O4.3-4.9。本发明方法生产过程简单便捷，成本较低。
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