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制备高纯碳化硅粉料的方法

641   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:49:01
本发明提出了一种制备高纯碳化硅粉料的方法，其特征在于，(1)选择高纯硅粉和高纯碳粉；(2)对高纯碳粉、石墨坩埚和保温结构进行一次提纯和二次提纯，其中，一次提纯采用真空脱气提纯，二次提纯采用惰性气体下的高温提纯；(3)将步骤(2)二次提纯得到的高纯碳粉和步骤(1)中的高纯硅粉置于步骤(2)二次提纯得到的石墨坩埚中，反应得到高纯碳化硅粉料。本发明通过对碳粉和石墨坩埚及保温结构进行预处理降低了高纯碳粉的含氮量与金属杂质含量，相比合成碳化硅后再进行湿法冶金处理，更为环保，且工序更简单，同时保证了合成碳化硅粉料时不会从石墨坩埚及保温结构中引入杂质。
声明：
“制备高纯碳化硅粉料的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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