合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 电冶金技术

> 磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法

磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法

864   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:46:02
本发明属于冶金制备领域,特别涉及一种磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法。该方法以99.97%的电解钴和99.95%的纯铁为原料,经真空熔炼、铸锭、锻造、轧制、矫直,然后机加工成成品。合金成分WT%范围为:FE 25-75%,CO 25-75%;在熔炼过程中浇注温度在合金熔点以上50℃~150℃,锻造温度在800℃~1200℃,轧制温度为850℃~1200℃,锻造和轧制的变形量均大于80%,矫直温度在700℃~1000℃。本发明与现有技术相比具有工艺简单,成本低,成份分布均匀无偏析,晶粒细小均匀,成品的纯度高,密度大、可控尺寸大,厚度薄的优点。
声明:
“磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
电冶金技术
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记