本发明属于冶金制备领域,特别涉及一种磁控溅射FE-CO合金靶的制造方法。该方法以99.97%的电解钴和99.95%的纯铁为原料,经真空熔炼、铸锭、锻造、轧制、矫直,然后机加工成成品。合金成分WT%范围为:FE 25-75%,CO 25-75%;在熔炼过程中浇注温度在合金熔点以上50℃~150℃,锻造温度在800℃~1200℃,轧制温度为850℃~1200℃,锻造和轧制的变形量均大于80%,矫直温度在700℃~1000℃。本发明与现有技术相比具有工艺简单,成本低,成份分布均匀无偏析,晶粒细小均匀,成品的纯度高,密度大、可控尺寸大,厚度薄的优点。
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