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去除多晶硅中磷和硼的装置

843   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:27
本实用新型公开了一种去除多晶硅中磷和硼的装置，包括真空室以及设于真空室内的石墨坩埚，所述石墨坩埚内部安装有旋转通气机构，所述旋转通气机构由竖直设置作为转轴的进气管以及若干同心布置的环形管组成，所述进气管通过环形管的中心，并与所有的环形管交叉连通，每根环形管的管壁均开设有出气孔。本实用新型旋转通气机构由多个环形管和进气管组成，环形管为竖直设置，在转动过程中，可以让气体及时分布于石墨坩埚的各个位置，让硼尽快形成熔渣去除，从而减少气体用量，降低成本。
声明：
“去除多晶硅中磷和硼的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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