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靶材级高纯钽粉的制备方法

753   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:03
本发明涉及一种靶材级高纯钽粉的制备方法，该工艺采用将钠还原氟钽酸钾制得的钽粉与NaCl、KCl和KF中的一种或任意几种稀释盐的混合块状物料用纯水滤洗，当滤洗液的电导率小于5000us/cm时，将滤洗后的物料倒入卧式球磨机进行湿式球磨，之后取出物料进行酸洗、抽滤和烘干得到钽粉原粉，再将钽粉原粉经过热处理、降氧处理、降氧酸洗、再次烘干和检测得到靶材级高纯钽粉。本发明工艺简单，生产成本低，由该方法制备的钽粉松装密度大，纯度高，氧含量低，满足了靶材对材料纯度及致密度的要求，进而大大降低了钽及钽合金靶材成本。
声明：
“靶材级高纯钽粉的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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