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减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:12
本发明涉及旋转阳极靶技术领域，特别涉及一种减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘。该复合层结构包括基体层以及轨道层；基体层上表面覆盖有过渡层，且过渡层上表面覆盖有轨道层；过渡层的热膨胀系数介于基体层的热膨胀系数和轨道层的热膨胀系数之间；按质量百分比，过渡层包括以下组分：20％～70％W,10％～50％Mo,5％～20％T,5％～20％Z；T为Re、Ta中的一种或两种组合；Z为Nb、Hf、Ti中的一种或多种组合。本发明可有效减少轨道层龟裂和开裂等现象的发生，使得复合层结构的室温断裂韧性增大，减少带有所述复合层结构的靶盘的裂纹的产生，从而提升靶盘使用寿命，以使靶盘质量提升。
声明：
“减小旋转阳极靶轨道层和基体层应力的复合层结构及其制备方法、靶盘” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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