权利要求
1.一种多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法，其特征在于，包括：
将多层复合薄膜的制备工艺流程作为图节点，每个工艺流程节点作为顶点，节点之间的关联关系作为边，构建工艺图结构，其中关联关系为工艺流程之间的物理参数联系;
按照制备工艺流程的时序关系设置时序约束条件，将所述时序约束条件拟合至边中，所述时序约束条件用于约束每个节点到下游节点的延迟时间;
按照时序约束条件确定工艺顺序，通过所述工艺图结构中的边，各节点传递相邻上游节点的特征信息，并将接收到的特征信息聚合，每个节点使用更新函数将聚合特征信息与自身特征结合，生成新的节点特征;
根据新的节点特征进行制备控制参数解析，获得节点制备参数。
2.如权利要求1所述的多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法，其特征在于，还包括：
根据工艺流程节点的物理原理以及历史样本数据，确定工艺流程节点之间的依赖关系及其依赖强度;
根据所述依赖强度进行变化衰减量拟合，确定分割阈值;
利用所述分割阈值确定依赖流程节点，确定分割节点层数;
根据所述分割节点层数设置网络层数，对所述工艺图结构进行边传递网络层数设置。
3.如权利要求2所述的多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法，其特征在于，根据所述依赖强度进行变化衰减量拟合，确定分割阈值，包括：
根据所述依赖强度，确定变化量的离散度;
根据所述离散度，确定中心点;
根据最大依赖强度与次大依赖强度变化量的半量，获得调节常数;
根据所述中心点对应的依赖强度以及所述调节常数，获得所述分割阈值。
4.如权利要求3所述的多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法，其特征在于，所述分割阈值的表达式为：，其中，为中心点对应的依赖强度，为调节常数，，其中，是最大依赖强度、是次大依赖强度。
5.如权利要求2所述的多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法，其特征在于，所述将接收到的特征信息聚合，每个节点使用更新函数将聚合特征信息与自身特征结合，生成新的节点特征，包括：
设置边传递网络层数的影响权重;
根据所述影响权重，按照工艺流程的层级关系从最上游的节点开始依
声明：
“多节点协同的多层复合薄膜材料制备方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：飞琳科新材料（南通）有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
