权利要求书： 1.一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版包括层叠的基膜及胶层；所述基膜包括高分子膜；所述高分子膜的材料为高分子聚合物；
所述掩膜版上具有多条狭缝；每条所述狭缝贯穿所述基膜和胶层；每条所述狭缝包括连续的第一段、第二段和第三段，所述第二段位于所述第一段和第三段之间，每条所述狭缝的第二段的长度占所述狭缝总长度的75％～85％；每条所述狭缝的第二段的宽度误差小于或等于10％；
所述宽度误差，是指所述狭缝上任意位置处的宽度与该位置所在段的宽度平均值之间的差值，占该段的宽度平均值的百分比。
2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，每条所述狭缝的第二段的宽度误差小于或等于8％。
3.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，每条所述狭缝整条的宽度误差小于或等于10％。
4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述狭缝包括相交的第一狭缝和第二狭缝；所述第一狭缝的宽度大于所述第二狭缝的宽度。
5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，每条所述狭缝整条的宽度处处相等。
6.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述第一狭缝任意位置处的宽度为30μm～400μm，所述第二狭缝任意位置处的宽度为2μm～60μm。
7.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，沿着同一轨迹的相邻第二狭缝之间具有分隔部。
8.根据权利要求7所述的掩膜版，其特征在于，所述分隔部的长度大于或等于200μm；优选地，所述分隔部的长度为400μm～2000μm。
9.根据权利要求1～8任一项所述的掩膜版，其特征在于，沿着所述狭缝延伸方向，所述掩膜版上、所述狭缝的两侧均具有热应力区域。
10.根据权利要求9所述的掩膜版，其特征在于，
当所述狭缝为第一狭缝时，在所述第一狭缝任意位置处，所述第一狭缝和所述第一狭缝两侧的热应力区域的宽度之和，与所述第一狭缝的宽度之比为(1.03～3.25):1；
当所述狭缝为第二狭缝时，在所述第二狭缝任意位置处，所述第二狭缝与所述第二狭缝两侧的热应力区域的宽度之和，与所述第二狭缝的宽度之比为(1.2～5.5):1。
11.根据权利要求9所述的掩膜版，其特征在于，所述热应力区域的宽度为6μm～75μm。
12.根据权利要求9所述的掩膜版，其特征在于，所述热应力区域靠近狭缝的位置具有凸起，所述
声明：
“掩膜版及太阳能电池” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：隆基绿能科技股份有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
