权利要求书: 1.一种叠加SE的碱抛光太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括先后进行的链式湿法氧化和链式湿法去PSG。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG位于所述SE步骤和碱抛光工艺之间。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG使用链式设备,按电池片传送方向依次进行氧化、碱洗、第一水洗、去PSG、第二水洗和烘干。
4.根据权利要求1?3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述氧化使用硝酸溶液;
优选地,所述硝酸溶液的质量浓度为60~70%;
优选地,所述氧化的温度为80~120℃;
优选地,所述氧化的反应时间为2~8min;
优选地,所述碱洗使用弱碱;
优选地,所述弱碱包括氢氧化钾和/或氢氧化钠;
优选地,所述弱碱的质量浓度为1~5%;
优选地,所述去PSG的溶液包括HF溶液;
优选地,所述去PSG的溶液的质量分数为5~15%;
优选地,所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG使用滚轮带液的方式去除所述电池片表面的氧化层。
5.根据权利要求1?4任一项所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:硅片依次进行制绒、扩散、SE、链式湿法氧化和链式湿法去PSG、碱抛光清洗刻蚀、热氧化退火、背钝化、正面减反射、激光开槽、丝网印刷、烧结和电注入,从而制备太阳能电池。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述制绒包括通过制绒硅片表面形成陷光结构,得到硅片A;
优选地,所述制绒得到的绒面的反射率为8~10%;
优选地,所述扩散包括通过扩散形成PN结,得到具有轻掺杂区域的硅片B;
优选地,所述扩散得到的所述轻掺杂区域的方阻为110~170Ω;
优选地,通过所述SE步骤包括在所述硅片B的表面的轻掺杂区域形成选择性重掺杂区域,得到硅片C;
优选地,所述重掺杂区域的方阻为50~80Ω;
优选地,对所述硅片C进行所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG,得到硅片D。
7.根据权利要求5或6所述的制备方法,其特征在于,所述碱抛光清洗刻蚀包括使用碱溶液抛光所述硅片D的背面,得到硅片E;
优选地,所述碱溶液包括氢氧化钠溶液和/或氢氧化钾溶液;
优选地,所述碱溶液的质量浓度为10~15%;
优选地
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