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叠加SE的碱抛光太阳能电池的制备方法及太阳能电池

557   编辑:中冶有色网   来源:横店集团东磁股份有限公司  
2024-02-22 11:38:36
权利要求书: 1.一种叠加SE的碱抛光太阳能电池的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括先后进行的链式湿法氧化和链式湿法去PSG。 2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG位于所述SE步骤和碱抛光工艺之间。 3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG使用链式设备,按电池片传送方向依次进行氧化、碱洗、第一水洗、去PSG、第二水洗和烘干。 4.根据权利要求1?3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述氧化使用硝酸溶液; 优选地,所述硝酸溶液的质量浓度为60~70%; 优选地,所述氧化的温度为80~120℃; 优选地,所述氧化的反应时间为2~8min; 优选地,所述碱洗使用弱碱; 优选地,所述弱碱包括氢氧化钾和/或氢氧化钠; 优选地,所述弱碱的质量浓度为1~5%; 优选地,所述去PSG的溶液包括HF溶液; 优选地,所述去PSG的溶液的质量分数为5~15%; 优选地,所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG使用滚轮带液的方式去除所述电池片表面的氧化层。 5.根据权利要求1?4任一项所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:硅片依次进行制绒、扩散、SE、链式湿法氧化和链式湿法去PSG、碱抛光清洗刻蚀、热氧化退火、背钝化、正面减反射、激光开槽、丝网印刷、烧结和电注入,从而制备太阳能电池。 6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述制绒包括通过制绒硅片表面形成陷光结构,得到硅片A; 优选地,所述制绒得到的绒面的反射率为8~10%; 优选地,所述扩散包括通过扩散形成PN结,得到具有轻掺杂区域的硅片B; 优选地,所述扩散得到的所述轻掺杂区域的方阻为110~170Ω; 优选地,通过所述SE步骤包括在所述硅片B的表面的轻掺杂区域形成选择性重掺杂区域,得到硅片C; 优选地,所述重掺杂区域的方阻为50~80Ω; 优选地,对所述硅片C进行所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG,得到硅片D。 7.根据权利要求5或6所述的制备方法,其特征在于,所述碱抛光清洗刻蚀包括使用碱溶液抛光所述硅片D的背面,得到硅片E; 优选地,所述碱溶液包括氢氧化钠溶液和/或氢氧化钾溶液; 优选地,所述碱溶液的质量浓度为10~15%; 优选地
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“叠加SE的碱抛光太阳能电池的制备方法及太阳能电池” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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