权利要求书： 1.一种叠加SE的碱抛光太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括先后进行的链式湿法氧化和链式湿法去PSG。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG位于所述SE步骤和碱抛光工艺之间。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG使用链式设备，按电池片传送方向依次进行氧化、碱洗、第一水洗、去PSG、第二水洗和烘干。
4.根据权利要求1?3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述氧化使用硝酸溶液；
优选地，所述硝酸溶液的质量浓度为60～70％；
优选地，所述氧化的温度为80～120℃；
优选地，所述氧化的反应时间为2～8min；
优选地，所述碱洗使用弱碱；
优选地，所述弱碱包括氢氧化钾和/或氢氧化钠；
优选地，所述弱碱的质量浓度为1～5％；
优选地，所述去PSG的溶液包括HF溶液；
优选地，所述去PSG的溶液的质量分数为5～15％；
优选地，所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG使用滚轮带液的方式去除所述电池片表面的氧化层。
5.根据权利要求1?4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：硅片依次进行制绒、扩散、SE、链式湿法氧化和链式湿法去PSG、碱抛光清洗刻蚀、热氧化退火、背钝化、正面减反射、激光开槽、丝网印刷、烧结和电注入，从而制备太阳能电池。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述制绒包括通过制绒硅片表面形成陷光结构，得到硅片A；
优选地，所述制绒得到的绒面的反射率为8～10％；
优选地，所述扩散包括通过扩散形成PN结，得到具有轻掺杂区域的硅片B；
优选地，所述扩散得到的所述轻掺杂区域的方阻为110～170Ω；
优选地，通过所述SE步骤包括在所述硅片B的表面的轻掺杂区域形成选择性重掺杂区域，得到硅片C；
优选地，所述重掺杂区域的方阻为50～80Ω；
优选地，对所述硅片C进行所述链式湿法氧化和链式湿法去PSG，得到硅片D。
7.根据权利要求5或6所述的制备方法，其特征在于，所述碱抛光清洗刻蚀包括使用碱溶液抛光所述硅片D的背面，得到硅片E；
优选地，所述碱溶液包括氢氧化钠溶液和/或氢氧化钾溶液；
优选地，所述碱溶液的质量浓度为10～15％；
优选地
声明：
“叠加SE的碱抛光太阳能电池的制备方法及太阳能电池” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：横店集团东磁股份有限公司
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2025年06月06日 ~ 08日 
