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用于感测元件的氧化铝扩散阻挡体

731   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:29:44
本发明涉及用于感测元件的氧化铝扩散阻挡体。本发明还涉及用于温度感测器的感测元件，包括具有施加于其的铂弯曲体的基底。氧化铝扩散阻挡体(ADB)覆盖弯曲体以提供抵抗污染的保护和结构稳定性，其中氧化铝扩散阻挡体是连续的多晶层，其由氧化铝和以重量计约1％的金红石添加剂制成以基本上避免网状孔隙。连续的多晶层包括具有典型在0.5‑3μm范围内的晶粒尺寸的晶粒。制造氧化铝扩散阻挡体的方法包括以下步骤：将纳米氧化铝和纳米金红石粉末组合以产生配制物；将配制物施加于铂弯曲体以形成层；将该层烧结以产生覆盖铂弯曲体的连续的多晶层。
声明：
“用于感测元件的氧化铝扩散阻挡体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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