权利要求书: 1.一种耐高频振动的单晶硅片,其特征在于:包括垫片(2);所述垫片(2)上对称地设有外壳(1),外壳(1)一侧对称地开设有圆孔,便于装置整体的固定;所述外壳(1)中安装有具有弹性缓冲结构的减振机构(4),减振机构(4)间卡持有硅片基体(3),防止硅片基体(3)在高频振动的工作环境中产生摩擦受损。2.根据权利要求1所述的一种耐高频振动的单晶硅片,其特征在于:所述减振机构(4)包括水平缓冲组件(41),垫片(2)顶部边沿上对称地固定有水平缓冲组件(41),硅片基体(3)架设在水平缓冲组件(41)上,垫片(2)上还对称地固定有竖直缓冲组件(42),硅片基体(3)卡持在竖直缓冲组件(42)间。3.根据权利要求2所述的一种耐高频振动的单晶硅片,其特征在于:所述水平缓冲组件(41)包括托板(411),垫片(2)上对称地固定有托板(411),托板(411)一侧通过对称设置的第一弹簧(412)与外壳(1)弹性连接,托板(411)远离硅片基体(3)一侧固定有限位板(413),限位板(413)与外壳(1)滑动插接。4.根据权利要求2所述的一种耐高频振动的单晶硅片,其特征在于:所述竖直缓冲组件(42)包括夹板(421),垫片(2)顶部对称地固定有夹板(421),所述外壳(1)顶部对称地滑动安装有柱头(422),柱头(422)底端固定有卡块(423),卡块(423)顶部与外壳(1)间安装有第二弹簧(424),卡块(423)与夹板(421)配合。5.根据权利要求4所述的一种耐高频振动的单晶硅片,其特征在于:所述卡块(423)呈正十字状,卡块(423)与夹板(421)顶部开设的十字槽插接。 说明书: 一种耐高频振动的单晶硅片技术领域[0001] 本实用新型涉及单晶硅加工技术领域,具体为一种耐高频振动的单晶硅片。背景技术[0002] 单晶硅片即硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。[0003] 单晶硅片在实际使用时往往会靠近电机、风扇等会发出高频振动的装置,而由于现有的单晶硅片往往缺少起到减震作用的缓冲结构,在承受高频振动时会与硬质的外部壳体部分产生摩擦,长期
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