权利要求书： 1.一种三氯化硼的制造方法，通过碳化硼和氯气之间的反应来制造三氯化硼，包含以下的脱水工序和生成工序，脱水工序：在350℃以上且比通过碳化硼和氯气之间的反应而开始生成三氯化硼的生成开始温度低的温度下，使含有氯气并且水分含量为1体积ppm以下的含氯气体与碳化硼接触，从而使所述碳化硼中含有的水分与所述含氯气体中的氯气反应、除去所述碳化硼中含有的水分，生成工序：将经所述脱水工序被脱水了的所述碳化硼与氯气反应而生成三氯化硼。
2.如权利要求1所述的三氯化硼的制造方法，所述含氯气体是与含有沸石的干燥剂接触过的。
3.如权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述脱水工序中使所述含氯气体与所述碳化硼接触的温度为400℃以下。
4.如权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述脱水工序在比大气压低的压力下进行。
5.如权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述含氯气体由20体积％以上且60体积％以下的氯气和余量的惰性气体组成。
6.如权利要求5所述的三氯化硼的制造方法，所述惰性气体为氮气、氩气和氦气中的至少一者。
7.如权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述碳化硼是从开孔5.60mm的干式筛子通过后的筛下量为100质量％，不能从开孔1mm的干式筛子通过的筛上量为65质量％以上的粉体。
8.如权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，所述生成工序中碳化硼和氯气之间的反应温度为800℃以上且1100℃以下。
9.如权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法，还包含以下的水分量评价工序：在反应容器内进行所述脱水工序，测定在所述脱水工序中从所述反应容器排到的排出气体中的水和氯化氢中的至少一者的量，来评价所述反应容器内的水分量。
说明书： 三氯化硼的制造方法技术领域[0001] 本发明涉及三氯化硼的制造方法。背景技术[0002] 作为三氯化硼(BCl3)的制造方法，将硼酸(B(OH)3)担载在活性炭上，使其与氯气(Cl2)发生反应的方法(参照例如专利文献1、2)、使碳化硼(B4C)和氯气发生反应的方法(参照例如专利文献3)是大家知道的。这些三氯化硼的制造方法，如果反应体系内存在水分，则有生成的三氯化硼发生水解使三氯化硼的制造效率降低的问题。此外有以下问题：三氯化硼的水解生成
声明：
“三氯化硼的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：昭和电工株式会社
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2025年05月23日 ~ 25日 
