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半导体分立器件封装的真空固化机构

923   编辑:中冶有色网   来源:江苏新智达新能源设备有限公司  
2023-11-29 13:39:24
权利要求书: 1.一种半导体分立器件封装的真空固化机构,包括有供放置封装框架(1)的底板(2)和盖合于所述底板(2)上方的顶盖(3),所述底板(2)中设置有转运所述封装框架(1)的移转机构(4),其特征在于:所述底板(2)上设置有真空部(5),所述真空部(5)包括设置于所述底板(2)上的真空底仓(501)和加热底板(502),所述真空底仓(501)为顶部开口的中空结构,所述加热底板(502)设置于所述真空底仓(501)内部,所述加热底板(502)和所述真空底仓(501)之间具有间隙,所述真空底仓(501)中穿设有支撑固定所述加热底板(502)的支撑管(503); 所述加热底板(502)上,沿所述移转机构(4)的转运方向横向设置有移转槽(504),所述真空底仓(501)的顶面高度低于所述移转槽(504)的槽底高度,所述移转机构(4)伸入所述移转槽(504)中;所述真空底仓(501)的顶面设有环形的密封槽(507),所述顶盖(3)上设置有真空顶仓(506)和驱动所述真空顶仓(506)上下运动的启闭机构(505),所述真空顶仓(506)为底部开口的中空结构,所述真空顶仓(506)的底壁压合于所述真空底仓(501)的顶壁,所述密封槽(507)中设有密封圈(508); 所述真空底仓(501)的底部连通有抽真空管(510)和氮气管(509)。 2.如权利要求1所述的半导体分立器件封装的真空固化机构,其特征在于:所述启闭机构(505)包括固定于所述顶盖(3)上的安装座(5051),所述安装座(5051)上竖直设置有若干个导套(5052),所述导套(5052)中竖直穿设有导柱(5053),所述导柱(5053)的末端与所述真空顶仓(506)的顶部固定;所述安装座(5051)上竖直设置有启闭气缸(5054),所述启闭气缸(5054)的活塞杆末端与所述真空顶仓(506)的顶部固定。 3.如权利要求2所述的半导体分立器件封装的真空固化机构,其特征在于:在所述顶盖(3)上,位于所述真空部(5)左右两侧分别设置有氮气供气模块(511);在所述顶盖(3)上设置有隔套(512),所述真空顶仓(506)间隙配合设置于隔套(512)中且在所述启闭机构(505)驱动下沿隔套(512)上下运动。 4.如权利要求3所述的半导体分立器件封装的真空
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