本公开涉及电子材料技术领域，具体提供一种二氧化钛/银/二氧化钛透明导电膜及其制备方法与应用。
背景技术：
这里的陈述仅提供与本公开有关的背景信息，而不必然构成现有技术。
随着科学技术的发展和人民生活水平的不断提高，高分辨率，大尺寸平面显示器，太阳能电池，节能红外反射膜，电致变色窗等广泛应用，对透明导电薄膜的需求愈来愈大。透明导电薄膜不但要求好的导电性，还要有优良的可见光透光性。从物理学的角度，物质的透光性和导电性是一对基本矛盾。而透明导电薄膜正是将透明性与导电性相结合成为功能材料中具有特色的一类薄膜，在光电产业中具有广阔的应用前景。为了使材料具有通常所述的导电性，就必须使其费米球的中心偏离动量空间原点，也就是说，按照能带理论在费米球及附近的能级分布很密集，被电子占据的能级和空能级之间不存在能隙。这样当有入射光进入时，很容易产生内光电效应，光由于激发电子失掉能量而衰减。所以，从透光性的角度不希望产生内光电效应，就要求禁带宽度必须大于光子能量。
宽带透明导电氧化物半导体，要保持良好的可见光透光性，其等离子频率就要小于可见光频率，要保持一定的导电性就需要定的载流子浓度，而等离子频率与载流子浓度成比例。透明导电膜的开发就是基于如何使二者更好的有机统一起来。自从在透明导电氧化物(tco)中第一次发现透光性与导电性可以共存后，新型tco的开发及复合多层膜的设计都是围绕着这样一对矛盾体进行的。tco可通过成分调整实现对带隙结构、载流子浓度和迁移率以及功函数等的控制来使其透光性与导电性矛盾的统一。单一金属膜由于透光性较差使其应用受到限制，因此，常与高折射率的电介质形成复合多层膜，这样就将金属的导电性与消反增透膜的透光性有机的统一起来，后来发展的高折射率tco与金属的复合也都获得了很好的透光性与导电性匹配。早期研究根据材料的不同可将其分为金属透明导电薄膜、氧化物透明导电薄膜(tco)、非氧化物透明导电薄膜及高分子透明导电薄膜。
近几年来薄膜工艺得到迅猛发展特别是透明导电薄膜方面部分已经实现了工业化生产。自1907年bakdeker将溅射的镉进行热氧化首次制备出透明导电氧化镉薄膜以来相继出现了sno2基薄膜in2o3基薄膜等不同类型的透明导电薄膜材料，并在众多领域实现了应用形成了一定的市场规模。其中应用最广泛的是ito薄膜，但是该薄膜制备过程及应用存在着很大的缺点即in的毒性
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我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：山东省科学院能源研究所
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2025年07月09日 ~ 11日 
