1.本发明涉及单晶制造技术领域，特别是涉及一种硅料的处理装置和硅料的处理方法。
背景技术：
2.近年来，光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。单晶硅片通常是由硅棒进行切片处理得到的，而硅棒通常可以由硅料生长得到。
3.实际应用中，硅料通常可以是原生多晶硅或者复拉料等，现有技术中，为了降低环保压力，在使用硅料拉制硅棒之前，通常先使用酸性溶液或者碱性溶液等试剂对硅料进行清洗，以去除硅料中混合的金属以及金属化合物等杂质。
4.然而，使用酸性溶液或者碱性溶液等化学试剂清洗硅料时，酸性溶液或者碱性溶液等化学试剂的用量较大，容易造成硅料的清洗成本较高，环保压力较大；而且，清洗后的硅料产出的硅棒品质仍难满足日益提升的硅棒高品质(成晶率/转换效率)要求。
技术实现要素：
5.鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种硅料的处理装置和硅料的处理方法。
6.为了解决上述问题，第一方面，本发明实施例公开了一种硅料的处理装置，包括：用于带动硅料沿预设传送路径运动的运输机构，以及，沿所述预设传送路径依次设置的处理腔和清洗机构，其中，
7.所述处理腔内设有加热机构，所述加热机构用于调节所述处理腔内的温度，所述处理腔内还设有用于输入反应气体的进气口，所述反应气体至少包括含卤气体；
8.在所述加热机构将所述处理腔内的温度调节至第一预设温度的情况下，所述进气口可向所述处理腔通入所述反应气体，以使所述反应气体中的所述含卤气体与所述硅料中的金属杂质反应，所述清洗机构用于清洗反应后的所述硅料。
9.可选地，所述处理腔沿所述预设传送路径依次设有用于穿设所述运输机构的第一进口和第一出口；
10.所述处理腔还设有用于密封所述第一进口的第一闸门和用于密封所述第一出口的第二闸门。
11.可选地，所述清洗机构包括至少两个用于向所述硅料喷淋清洗液的喷淋机构，以及与所述喷淋机构对应设置的至少两个清洗槽；
12.所述至少两个喷淋机构沿所述预设传送路径依次设置，一个所述清洗槽对应设于一个所述喷淋机构的下方，所述清洗槽用于回收对应的所述喷淋机构向所述硅料喷淋的清洗液。
13.可选地，所述清洗液包括：乳酸、氢氟酸和硝酸中的至少一种。
14.可选
声明：
“硅料的处理装置和硅料的处理方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
411
编辑：中冶有色网
来源：隆基绿能科技股份有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年06月06日 ~ 08日 
