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有色金属失效分析技术理论与应用

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高压注射器及其注射头

本实用新型公开了一种高压注射器及其注射头,包括传动装置、压力检测装置和夹头;压力检测装置包括基座筒和应变片传感器组,基座筒包括中空的筒体、分别设置于筒体前、后两端且与筒体相通的夹头固定板和电机固定板;夹头设置在夹头固定板上以固定针筒;应变片传感器组固定在筒体,传动装置包括位于基座筒内的推杆;工作时,推杆向前推进施加给针筒内的压力作用于筒体上使筒体受力拉伸,应变片传感器组随筒体的拉伸产生形变并输出相应的电信号。相较于现有的通过在推杆前、后端设置存在移动导线连接的压力传感器来测压,本方案将应变片传感器置于基座筒上,使得压力检测装置不受注射头空间大小限制,更能避免因导线故障致使压力检测失效的风险。

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失效分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
家用电梯应急冗余救援控制系统

本实用新型公开了一种家用电梯应急冗余救援控制系统,包括用户电源、应急电源及备用驱动系统、曳引系统、电梯主控制系统和电梯井道系统,电梯主控制系统与应急电源及备用驱动系统实时相互检测,当系统响应每一次电梯启动命令时确保有两套独立的驱动控制,电梯正常启动前检查应急电源及备用驱动系统的状态,当判断该系统不正常时不响应本次电梯启动命令并显示设备故障状态以防止电梯主控制系统在本次运行中失效无法完成自动应急救援,系统进入应急救援控制模式后采用开环驱动模式救援停靠。本实用新型在电梯主控制系统失效的情况下作为简单的备用电机驱动系统使用,使电梯在响应每一次启动命令前都具备冗余的电机驱动控制系统实施救援,避免困人。

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失效分析
江苏 - 苏州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
高温炉
高温炉 637     
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本实用新型实施方式涉及高温检测技术领域,特别是涉及一种高温炉。其中,该高温炉包括炉体,设置有空腔;加热装置,设置于空腔内;温度检测装置,设置于空腔内;处理器,分别与温度检测装置和加热装置连接。高温炉在运行过程中,温度检测装置能够测量高温炉的实际温度,并通过实际温度与高温炉的设定温度来控制加热装置的开关状态,一方面使高温炉运行温度更加精准,另一方面避免高温炉自身温度控制失效的情况下,持续性的升温造成高温炉的报废或引起火灾等安全隐患,起到保护高温炉的作用。

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失效分析
广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电磁式交流接触器故障自愈装置

本发明公开了一种电磁式交流接触器故障自愈装置,包括电磁控制机构、触头系统以及自愈电磁控制机构,电磁控制机构以及自愈电磁控制机构均与触头系统连接,触头系统包括故障检测模块,自愈电磁控制机构包括控制模块,控制模块控制在故障检测模块检测到故障时自愈电磁控制机构动作或发出警报。可实现在检测到吸合不良或电磁控制机构合闸失效时,立即完成自愈操作,保证安全的同时维持连续供电。

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失效分析
浙江 - 湖州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
双线控制装置
双线控制装置 748     
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本发明适用于矿井提升机控制技术领域,提供了一种双线控制装置,包括电机、滚筒、高速编码器、低速编码器、第一PLC和第二PLC,通过设置分别连接电机轴和滚筒主轴的高速编码器和低速编码器,还通过设置均连接高速编码器和低速编码器的第一PLC和第二PLC,从而能够首先通过高速编码器检测电机轴的转速值,利用低速编码器检测的滚筒主轴的转速值,当高速编码器检测的转速值高于一个第一预设转速值时,或者当低速编码器检测的转速值高于一个第二预设转速值,第一PLC控制电机减速,且当第一PLC故障失效时,通过第二PLC控制电机,本发明具有结构简单、电气接点少、能够有效避免因故障产生事故。

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失效分析
安徽 - 淮北 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
控制系统、控制方法及起重机

本发明公开了一种控制系统,包括检测装置、控制器以及人机界面模块;检测装置用于检测总线手柄和脚油门至少一者的操控指示参数,控制器,用于接收检测装置的操控指示参数,并根据操控指示参数判断总线手柄和/或脚油门是否发生故障,如果发生故障,则发出激活人机界面上与故障部件相对应的虚拟操作单元的控制指令;否则,发出继续由总线手柄和/或脚油门控制执行部件动作的控制指令;该控制系统无需额外增加其他控制元件即可满足起重机总线手柄和脚油门失效情况下的继续作业控制需求,不仅有利于降低起重机的使用成本,而且大大简化了起重机的结构,满足整机设计需求。在上述控制系统的基础上,本发明还公开了一种控制方法和起重机。

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失效分析
江苏 - 徐州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
PECVD上料区防撞舟保护装置

本实用新型涉及PECVD上料区防撞舟保护装置。目前,太阳能光伏领域PECVD上料设备的上料区域只有一个光电传感器,一旦光电传感器失效,就无法检查到推入设备中的小车上有无石墨舟,将会存在严重的安全隐患。本实用新型的PECVD上料区防撞舟保护装置,其中:上料设备通过导线与继电器串联,继电器通过导线分别与Ⅰ号光电传感器和Ⅱ号光电传感器串联,Ⅰ号光电传感器与Ⅱ号光电传感器通过导线并联。本实用新型的优点:在上料区增加一个光电传感器,作为双重保护。通过改进后,能够在一个传感器失效后,通过另一个传感器检测,保护石墨舟和机械臂的安全,是设备运行更稳定。采用简单有效的方法改进,节约成本,又便于维护保养。

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失效分析
江西 - 上饶 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
实验室钣金设备二次保护装置

本实用新型属于安全防护设备技术领域,特别是涉及到一种实验室钣金设备二次保护装置。包括剪板机检测保护系统、弯板机检测保护系统、监控设备和保护开关,本实用新型中剪板机检测保护系统和弯板机检测保护系统均通过红外探测是否有障碍物来发送信号相应的控制箱,控制箱在保证电机正常运转的条件下,关闭执行电路,作为一级保护,来确保设备及学生的人身安全。保护开关位于控制室,老师可以通过手动控制每个设备的开启或关闭,同时在一级保护失效的特殊情况下,老师可以通过保护开关强行控制设备,作为二级保护来确保设备及学生的人身安全。双层保护措施最大限度的保护操作人员的人身安全及设备运行安全。

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吉林 - 长春 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
可异常保护的运钞袋装置

本发明公开了一种可异常保护的运钞袋装置,其包括:运钞袋,其上设有可打开或闭合所述运钞袋的拉链结构;安装在运钞袋上用来对拉链结构执行上锁或开锁操作的防伪签封,所述防伪签封包括带有电子签封装置的锁芯结构;对所述防伪签封进行控制的读写器,用来读写电子签封装置的运钞袋签封信息,并对所述电子签封装置发出上锁或开锁指令,使其输出用来使锁芯结构执行所述上锁或开锁操作的信号;安装在所述防伪签封内的异常状态检测装置,用于在所述防伪签封重新加电后,对所述锁芯结构的工作状态进行检测,并在检测到所述工作状态为异常状态时,生成用于执行闭锁操作的异常状态检测信号。本发明可以避免因异常状态而导致电子签封失效的现象。

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失效分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于速度和位置的电动设备双重保护方法及系统

本发明提供了一种基于速度和位置的电动设备双重保护方法及系统,其按照测速编码器检测到的实际速度的时间积分计算位移,按照位置检测器的脉冲计算相对位移,计算实时的位移偏差,实时判断并保护,并在必要时立即停车、切断速度给定并报警。本发明提供的方法是基于速度和位置的双重实时相互校验,只要测速编码器、位置检测器有一个有效,就能侦测到故障的发生;而两个传感器同时失效的概率微乎其微,所以本发明提供的方法的可靠性也非常高。

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失效分析
上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于机器学习的信号灯自动配时装置及其方法

本发明公开了一种基于机器学习的信号灯自动配时装置,属于交通信号灯技术领域,包括立柱、固定轴、信号灯本体、感应线圈、旋转机构、感应雷达、虚拟地感相机、动态捕捉相机和控制柜,所述立柱沿竖直方向布置,所述立柱固定连接于地面上,所述感应线圈为多组设于所述地面内,所述固定轴固定连接于所述立柱上,且所述固定轴垂直于所述立柱布置,所述信号灯本体固定连接于所述立柱的顶部,所述旋转机构套设于所述固定轴上;本发明通过综合视频检测、雷达车检和地感车检的多检测方式的结合,利用机器学习的方式优化信号灯配时策略,避免了单一检测技术失效时配时错误,同时也避免了天气等因素的干扰,配时精准,装置运行稳定性高。

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江苏 - 苏州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
压缩机的转矩计算方法及具有其的空调器

本发明提供一种压缩机的转矩计算方法及具有其的空调器,压缩机的转矩计算方法,其特征在于:包括:检测步骤,检测压缩机的排气压力和吸气压力;或者检测冷凝器的冷凝温度和检测蒸发器的蒸发温度;计算步骤,计算或直接获得压缩机的排气压力和吸气压力;获取步骤,获取压缩机的泵体内的气动负载M=f(Pc,Ps,θ);压缩机气动负载M如下所示:根据本发明能够得到压缩机运转过程中的负载详情,则根据负载详情可以进行精准的转速补偿,为使用所获取的负载进行转矩补偿控制,为转矩补偿控制提供参考,由此减小压缩机振动以及振动噪音和管路失效等问题。

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失效分析
广东 - 珠海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新能源汽车低压电源异常驱动控制方法、装置及介质

本发明公开了一种新能源汽车低压电源异常驱动控制方法、装置及介质,属于汽车电子技术领域,该方法包括:若VCU检测到低压电源电压满足第一目标要求,则控制车辆进入正常模式;若VCU检测到低压电源电压满足第二目标要求,则控制车辆进入报警模式,由VCU控制点亮仪表上蓄电池灯,提示低压电源存在问题;若VCU检测到低压电源电压满足第三目标要求,则控制车辆进入限功率模式,以在转向助力受限前提前进行动力系统限制;若VCU检测到低压电源电压满足第四目标要求,则控制车辆进入停止模式,VCU控制动力系统限制车辆不能行驶。通过本发明能避免由于低压电源馈电或电压过高等异常导致行驶时转向失效和动力中断导致的安全问题。

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失效分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有远程剩余电流脱扣报警功能的塑壳式剩余电流保护器

本发明涉及一种剩余电流保护器,尤其是一种具有远程剩余电流脱扣报警功能的塑壳式剩余电流保护器,属于剩余电流保护的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述具有远程剩余电流脱扣报警功能的塑壳式剩余电流保护器,包括用于检测漏电状态的漏电检测电路,所述漏电检测电路输出端通过门限比较电路与延时比较电路连接,延时比较电路的输出端与脱扣驱动电路连接;漏电检测电路、门限比较电路、延时比较电路均与用于提供工作电压以及指示漏电状态的电源指示电路连接。本发明结构紧凑,自动化程度高,无需外接电源即能对剩余电流进行远程报警,避免由于欠压或失压状态是报警的失效,提高用电及维修的安全性。

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失效分析
江苏 - 无锡 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
汽车起重机及其转向控制装置

本发明公开了一种转向控制装置,包括主转向泵以及应急转向泵,所述主转向泵和应急转向泵的出油口均连通至转向器的进油口,所述应急转向泵为电动油泵,其驱动电机在电路上连接于所述汽车起重机的车载电瓶;进一步包括压力检测装置、速度检测装置、应急转向开关以及车辆控制器,所述车辆控制器根据所述压力检测装置和速度检测装置输出的信号,控制所述应急转向开关。该装置选用电动油泵作为应急转向泵,由汽车起重机的车载电瓶为应急转向泵的驱动电机供电,驱动电机带动应急转向泵工作提供应急转向助力,使驾驶员在发动机、主转向泵失效时仍然能够转动方向盘来控制车辆行驶方向。本发明还公开了设有上述转向控制装置的汽车起重机。

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江苏 - 徐州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有远程控制功能的车辆及用于车辆熄火时的提醒装置

本实用新型提出一种用于车辆熄火时的提醒装置,其包括:实时检测车辆预设范围内网络信号强度的信号检测器;监测车辆的钥匙信息的智能钥匙控制器;提示器;和控制提示器向用户发出提示信息的车身控制器,车身控制器分别与信号检测器、智能钥匙控制器和提示器相连,其中,车身控制器在车辆熄火之前判断网络信号强度,且在网络信号强度低于预设强度且车辆无钥匙时发出提示控制信号。本实用新型还提出一种具有远程控制功能的车辆。本实用新型能够实时检测网络信号的强度,在网络信号弱的环境下熄火时提醒用户注意,降低因未携带钥匙且远程控制不可靠甚至失效带来的风险,从而提高车辆远程控制的稳定性,使用户得到良好的驾驶体验。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电磁式漏电保护装置
电磁式漏电保护装置 1004     
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本实用新型公开了一种电磁式漏电保护装置,包括装置重合闸部件单元、手柄及自由脱扣机构位置检测部件、电磁式漏电检测互感器、电力继电器,电磁式漏电检测互感器与电磁式漏电保护脱扣器相连,电磁式漏电保护脱扣器与手柄及自由脱扣机构相连,手柄及自由脱扣机构位置检测部件与手柄及自由脱扣机构、控制电路部件相连,装置重合闸部件单元与手柄及自由脱扣机构、控制电路部件相连,所述电力继电器与控制电路部件相连。本实用新型的漏电保护功能与母线电压无关,提高了漏电保护功能的可靠性;能够实现漏电保护功能自检,能预知隐患,防患于未然,在漏电保护功能失效的情况下,自动切断负载供电,且告警,确保安全。

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湖南 - 湘潭 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
空调系统的压缩机回油管路故障的处理系统

本实用新型提供一种空调系统的压缩机回油管路故障的处理系统,包括压缩机和油气分离器,还包括设置在回油管路上并位于毛细管和油气分离器之间的回油温度传感器,以及主控制器,主控制器读取回油温度传感器检测到的回油温度,并根据所述检测到的回油温度与系统参数之间的差值判断回油管路的故障。其解决了因回油管路故障不可知和无法提醒用户检查和维修,进一步导致压缩机失效的问题;回油温度传感器设置在回油管路位于毛细管和油气分离器之间,一方面距离油气分离器有一段距离,避免油气分离器底部较高的润滑油引起的热传递导致回油温度检测值偏高,另一方面避免回油温度的检测值受到毛细管节流作用的影响,且可兼容采用不同规格的毛细管。

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广东 - 珠海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
PCB板制作中振动器异常报警装置

一种PCB板制作中振动器异常报警装置,固定于安装浸润PCB板药水缸的机架上,该报警装置包括一检测药水缸震动位移量的检测探头,检测探头通过变送器与一显示位移量的显示表头连接。其中,显示表头输出信号线与控制整个PCB板制作的PLC连接,在PCL相应输出接脚上连接有声音报警器以及指示灯。检测探头为光电位移传感器。本实用新型不需要改动现有设备,安装简单,维护及检修方便。通过安装该报警装置,可以有效的实时监控震动器震动幅度的变化,避免震动器已失效或衰减,避免生产时PCB板发生孔内气泡缺陷问题,保证了PCB板的可靠性,同时减少报废。

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广东 - 惠州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于互联网文本挖掘的兴趣点有效性判断方法和装置

本申请实施例公开了基于互联网文本挖掘的兴趣点有效性判断方法和装置。所述方法的一种实现方式包括:确定用于指示待检测兴趣点的搜索词集合;将所确定的搜索词作为搜索关键词进行搜索,得到用于描述待检测兴趣点的描述信息集合;将待检测兴趣点的名称和描述信息集合中的描述信息输入预先建立的有效性判别模型,得到用于指示待检测兴趣点的有效性的状态标签。该实现方式能够及时地发现失效的POI信息。从而为用户提供更加准确的信息,满足用户需求,提升用户体验。

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失效分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
节温器及其控制方法
节温器及其控制方法 1034     
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本发明涉及节温器技术领域,具体公开了一种节温器及其控制方法,该节温器包括:上支架;下支架;与上支架配合,且与上支架之间形成空腔;主阀门,位于空腔中,与上支架选择性抵接,当抵接时,两者密封;主弹簧,两端分别与主阀和下支架抵接,且处于压缩状态;推杆,套设在主阀门上,与主阀门固定连接且密封,其内部设有第一容置腔;感温介质,封装于第一容置腔中,其受热后体积能够膨胀;反推杆,穿设于推杆上,一端位于感温介质中,另一端与上支架连接,反推杆与推杆滑动连接并且与推杆密封;检测装置,与发动机ECU连接,且用于检测推杆的位置。通过检测装置检测推杆的升程,可以据此判断节温器是否失效。

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失效分析
山东 - 潍坊 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
自保护电涌保护器
自保护电涌保护器 909     
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本实用新型公开了一种自保护电涌保护器,包括空气断路器,连接导线,雷电计数器及工作状态指示灯,雷电流检测装置,电涌保护器,传感器,通信端口,接地装置;电涌保护器一端通过所述空气断路器连接在所述电源线上,另一端连接在所述接地装置上,所述雷电流检测装置连接在所述电涌保护器与所述接地装置之间,所述雷电流检测装置上同时接有所述雷电计数器及工作状态指示灯和所述通信端口。本实用新型可以让同一区域内的电涌保护器形成网络,通过485总线通信方式,自动检测雷电流大小及雷电流波形,在后台实时监测各电涌保护器的工作状态,对失效的电涌保护器及时更换,防止雷击事故的发生,减轻维护人员的工作强度。

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湖南 - 长沙 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
利用生物雷达提取生物体信息对报警开关控制装置及方法

本发明属于对生物体信息非接触式提取和利用技术领域,公开了一种利用生物雷达提取生物体信息对报警开关控制装置及方法,通过对生物雷达同时提取并还原的生物体呼吸、心跳波形分别进行检测;根据检测结果,提供多种逻辑组合电平作为报警电平输出,用户根据需要选择相应逻辑电平驱动报警开关动作。本发明利用生物雷达通过检测生物体的生命体征进行开关控制的方式不需要被监控对象发出声响和进行移动,不受使用环境温度和发热物体影响,且由于生物雷达波能有效穿透多种介质(雨、雾、衣物、纸、塑料等多种非金属物品),所以因各类物体阻挡引起的检测开关失效及误报率高的问题也得以降低。

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云南 - 昆明 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
底盘调平逻辑判断保护系统

本发明一种底盘调平逻辑判断保护系统,其中,底板面向顶板的一侧设有纵向水平检测仪、横向水平检测仪,顶板背离于底板的一侧设有六轴加速度陀螺传感器;一控制器,控制器分别连接于纵向水平检测仪、横向水平检测仪、六轴加速度陀螺传感器以及各电动液压杆。通过使用本发明本发明一种底盘调平逻辑判断保护系统,能够对电动液压杆进行实时的监控,防止电动液压杆发生失效所带来的安全影患,能够在断电的意外情况下能够即使的报警并且对蓄电箱进行保护的同时还能够保证使用者的安全,大大的提升了对顶板水平调整的精度与速度。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
双轮自平衡车辆控制系统以及双轮自平衡车辆

一种双轮自平衡车辆控制系统包括,主检测组件(10)、控制单元(30)、致动器控制装置(40)、能源模块(60)和致动器(50),所述控制单元(30)与所述致动器控制装置(40)和所述主检测组件(10)相连,所述致动器控制装置(40)与所述致动器(50)相连,所述能源模块(60)和所述控制单元(30)和所述致动器控制装置(40)相连,还包括备用检测组件(20),所述备用检测组件(20)与所述控制单元相连。此外本发明还包括了一种通过所述双轮自平衡车辆控制系统设置的一种两轮自平衡车辆。本发明解决了两轮自平衡车辆部分部件失效造成整车失去平衡、导致驾驶员跌倒或摔伤问题,从而提供驾驶员的安全性。

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失效分析
北京 - 北京 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
具有安全保护特性的个人计算机系统及其实现方法

本发明系统有一个通常封闭的机壳,至少有一个可擦存储器部件用于有选择地启动有效状态和无效状态;一个选择开关在操作上与可擦存储器部件相连,用于将可擦存储部件设置成有效状态和无效状态;一个窜改检测开关在操作上与可擦存储器部件相连,用于检测机壳打开,并响应窜改开关的任何切换,使存储与可擦存储器部件中的任何特许访问口令失效;还有一个系统处理器在操作上与可擦存储器部件相连、用于控制对存储在系统中的至少是某些级别的数据所进行的访问。

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其他 - 其他 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
防雷器及电源设备
防雷器及电源设备 947     
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本申请提供了一种防雷器及电源设备。防雷器包括防雷部、保护触点及状态监测部。状态监测部设置有信号反馈触点,保护触点设置在信号反馈触点与防雷部之间;保护触点配置为当防雷部功能有效时保护触点闭合,当防雷部功能失效时保护触点断开;信号反馈触点配置为当保护触点闭合时信号反馈触点断开,当保护触点断开时信号反馈触点闭合。状态监测部包括第一电路组件,第一电路组件第一端用于与电源正极连接,第一电路组件第二端用于外接压差检测装置;信号反馈触点设置于第一电路组件第一端与第二端之间,当信号反馈触点闭合时第一电路组件第一端与第二端导通,压差检测装置所检测到的压差发生变化。本申请的防雷器系统集成度较高,智能化水平较高。

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广东 - 深圳 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
智能型遥控一键自动挂挡转向助力操控系统

本发明公开了一种智能型遥控一键自动挂挡转向助力的操控系统,包括:手持无线遥控器,通过无线通讯发送操控指令给MCU主控板;所述MCU主控板用于控制操控系统上各个模块的运行及信息交互;一键自动挂挡装置、挂挡电机驱动模块、挡位检测模块、离合器位置检测模块、左转向助力机装置、右转向助力装置、压力传感器、调节油门大小的舵机。本发明在极大的减轻了人力操作时的劳动强度的同时提高了安全性和生产效率,并且能轻易的实现遥控转向、油门的大小调节、发动机的远程遥控启动与熄火、遥控一键自动挂挡;还具备了遥控失灵、MCU主控板电源意外断电、系统供气压力过低以及挡位检测模块、离合器位置检测模块失效的多种保护停车功能。

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江西 - 吉安 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
嵌入式存储器的多级冗余结构

本发明涉及一种嵌入式存储器的多级冗余结构,包括:正常数据存储阵列,用于正常情况的数据存储;第一、二冗余存储阵列,用于替换正常数据存储阵列中的故障列;MBIST控制器,用于控制存储器的自检测行为;MBIST地址发生器,用于产生自检测状态下的存储器地址;MBIST数据发生器,用于产生自检测状态下的数据;MBIST校验模块,用于接收原始数据和读出数据,并判断存储器是否正常;MBIST响应模块,用于对自检测结果作出响应,如存储器出现异常,则改变存储器读写地址映射关系,否则保持不变。这种结构在65nm以下工艺下有利于提高嵌入式存储器自修复率,降低使用中嵌入式存储器失效风险,同时不会过多增加产品硬件开销。

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江苏 - 无锡 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于晶圆外延处理的自动化设备及其操作方法

本发明涉及一种用于晶圆外延处理的自动化设备及其操作方法,包括外轮廓检测台、晶圆反应台和第一机械手,所述的外轮廓检测台右侧安装有晶圆反应台,晶圆反应台上端转动安装有转台,所述的外轮廓检测台上转动安装有与转台对应的第二机械手,所述的外轮廓检测台和晶圆反应台的上端安装有密封罩,所述的密封罩左端安装有与密封罩连通的置换腔平台。本发明有效降低晶圆的膜厚和电阻率波动、解决晶圆因在支撑器上位置偏差过大导致产品失效等问题。

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浙江 - 衢州 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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