产品详细参数如下:
产品类别 合金靶材
产品简称 CoCrTa
产品全称 Cobalt Chromium Tantalum
产品纯度 99.9%,99.95%,99.99%
产品形状 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶
生产工艺 Vacuum Melting
最大尺寸 L≤200mm,W≤200mm
钴铬钽合金靶材是由高纯钴、铬、钽为原料熔炼得到的靶材,按照靶材所需的配比称量Co、Cr和Ta原材料,将原材料装入坩埚内,经高真空熔炼后得到成分组织均匀的合金锭,将铸锭进行热轧后得到靶坯,将靶坯进行机加工后得到靶材。制备出来的钴铬钽合金靶材有纯度高、晶粒大小分布均匀且工艺简单等特点。钴铬钽靶材曾是平行磁记录模式下,磁记录薄膜重要的软磁层材料。