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铝铬合金靶材的短流程制备方法

本发明公开了一种铝铬合金靶材的短流程制备方法,该方法包括:一、准备粉末原料;二、混匀;三、烘干;四、梯度加热、加压SPS烧结;五、包覆热轧及退火处理;六、机加工、校直、真空退火及清洗处理。本发明采用梯度加热、加压的SPS烧结工艺,不仅获得了合金化完全、组织均匀致密的铝铬合金靶材坯料,极大缩短制备周期,大幅提高生产效率,有效保证了良好的合金化效果,还避免长时间烧结造成晶粒长大和氧含量增加的问题,结合包覆热轧及退火工艺,进一步细化晶粒、提高组织均匀性,消除了SPS单轴压力引起密度均匀性差的问题

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铝铬合金靶材
合金材料制备
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