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表面形状测量机

表面形状测量机

218
规格/型号:Formtracer CS-3200S4
品牌:日本三丰
应用领域:分析检测
产地:江苏 - 苏州
厂家/供应商:苏州小数岛精密技术有限公司
咨询电话::15652242448(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-08-13
级别:待认证

表面形状测量机说明介绍

日本三丰


工作原理

Formtracer CS-3200S4基于接触式轮廓扫描技术:


高精度探针系统:配备金刚石或红宝石探针,以恒定接触力(0.5-10mN可调)沿样品表面滑动,探针垂直位移通过高分辨率电感传感器(分辨率0.3nm)实时检测。

气浮导轨驱动:X轴采用非接触式气浮导轨,消除机械摩擦干扰;Z轴配备闭环控制直线电机,实现高速(最大5mm/s)且无振动的垂直扫描。

智能环境补偿:内置温度传感器与振动隔离系统,自动修正热膨胀与微小振动对测量结果的影响,确保长期稳定性。


应用范围


机械加工:测量工件表面粗糙度(Ra/Rz)、波纹度、圆度及直线度,验证磨削、抛光或车削工艺效果。

汽车制造:检测发动机缸体、轴承套圈、齿轮齿面的形貌参数,优化摩擦副配合与耐磨性能。

半导体封装:分析芯片键合线高度、焊球共面性、晶圆表面台阶高度,支持微电子组装精度控制。

模具制造:表征模具型腔、冲头表面的加工纹理与缺陷,指导电火花加工(EDM)或激光熔覆修复。

材料研究:测量薄膜厚度、涂层均匀性、金属疲劳裂纹扩展形貌,辅助新材料开发与失效分析。


技术参数


测量范围:X轴200mm/400mm(可选),Z轴5mm/10mm(可选)

垂直分辨率:0.3nm(电感传感器)

水平分辨率:0.01μm(光栅尺)

探针接触力:0.5-10mN(可调)

最大扫描速度:5mm/s(X轴)

粗糙度参数:支持Ra、Rz、Rq、Rp、Rv等30+国际标准计算

软件功能:兼容ISO 4287、ISO 25178标准,支持3D形貌重建、频谱分析及批量数据处理


产品特点


超刚性气浮导轨:X轴气浮导轨与Z轴直线电机组合,消除机械摩擦与爬行现象,实现纳米级重复定位精度。

智能探针保护:内置力反馈控制系统,当探针接触力超过设定值时自动停止扫描,避免样品或探针损坏。

多尺度测量能力:单次扫描可同时获取表面粗糙度与宏观形状数据,减少多次装夹误差。

一键式自动校准:软件内置自动校准程序,支持探针半径补偿、垂直度校正与系统误差修正,操作便捷。

模块化扩展设计:可选配激光干涉仪、旋转载物台等附件,适配圆柱面、曲面等复杂形状测量需求。

全球行业认证:通过ISO 9001、ISO/IEC 17025认证,符合汽车(VDA 6.3)、航空(AS9100D)等严苛标准。

         
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