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管式A&P设备

管式A&P设备

341
规格/型号:PD-520L
品牌:捷佳伟创
应用领域:材料制备
产地:广东 - 深圳
厂家/供应商:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
咨询电话::0755-81449696(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-04-02
级别:待认证

管式A&P设备说明介绍

管式A&P设备

设备名称 Equipment Name


管式A&P设备 Horizontal PEALD (A&P)


管式A&P设备型号 Equipment Model


PD-520L/PD-520MAX


设备用途 Equipment Application


AlO+SiN薄膜沉积。

AlO+SiN Thin-film Deposition.


管式A&P设备技术特点 Features


1、原子层沉积工艺特性,成膜均匀性好。

Atomic layer deposition process, with better film uniformity.

2、同机台或同管完成多层膜沉积,减少工艺环节,有效提升良率、降低碎片率。

Multi-layer thin film deposited in the same process equipment or same furnace tube, reducing process steps and wafer breakage rate, improving yield effectively.

3、自主研发液态源前驱体蒸气输送与前驱体快速切换技术。

Independent R&D of liquid source precursor vapor delivery and precursor rapid switching technology.

4、适应不同前驱体、不同材料钝化层沉积,工艺拓展空间大。

Suitable for deposition of passivation layer for different precursors and materials, with a large space for process expansion.


设备参数 Parameters


·最大兼容硅片尺寸:230mm

·Max.Compatible Wafer Size:□230mm

·单机管数:6管

·Tube Configuration:5 tubes/6 tubes

·单管装片量Loading Capacity/Tube


机型Model:182□210

PD-520L(6管):640片/管(pcs/tube)\504片/管(pcs/tube)

PD-520MAX(6管):768片/管(pcs/tube)\616片/管(pcs/tube)


·单机产能Throughput

机型Model:182\210

PD-520L(6管/tubes):3100片/小时(pcs/h)\2450片/小时(pcs/h)

PD-520LMAX(6管/tubes):3700片/小时(pcs/h)\3000片/小时(pcs/h)


·外形尺寸(mm,含地脚、不含泵)Footprint (mm, incl. leveling foot, excl. pumps)

PD-520L:9570x2150x4410(6管/tubes)

PD-520MAX:11050x2150x4500(6管/tubes)

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