RTP-1000-LV3C 900℃带3路浮子混气RTP管式炉
应用范围:RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵(真空度达 10-3 torr )。他专为半导体基片和
太阳能电池或其他样品(尺寸可达 3" )退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热,最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和
真空泵跟RTP 炉体相连接。
产品型号 :RTP-1000-LV3C
上架时间 :2019-07-18
安装尺寸:600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
重量:210 lbs
RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵(真空度达 10-3 torr )。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达 3" )退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热,最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制,精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。
性能指标和基本配置