真空感应化学气相沉积炉是在真空或保护气氛下,利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热,也可电阻加热,石墨坩埚中放入被制备的碳-碳复合材料。在一定温度下将坩埚加热到规定温度,并通入稀释的碳氢气体。
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