1.5)：1，按照体积比2％-20％向所述混合溶液中加入所述催化剂。
17.在本发明的一些实施例中，所述步骤s2中，老化时间2-8h，干燥方式采用常温干燥，常温干燥时间为5-20h；或者，
18.干燥方式采用冷冻干燥，冷冻干燥时间为10-100h；或者，
19.干燥方式采用超临界干燥，超临界干燥时间为5-15h。
20.在本发明的一些实施例中，所述步骤s3中，在高温合成步骤之前先进行粉碎处理和筛分分离，将所述有机聚合物粉碎至1.5mm-5mm。
21.在本发明的一些实施例中，所述步骤s3中，采用研磨设备进行粉碎处理，研磨介质为碳化硅研磨珠，碳化硅研磨珠的直径为0.5mm-1mm，研磨时，碳化硅研磨珠和有机聚合物的质量比为(0.5-2)：1；
22.筛分分离时，采用筛分机将碳化硅研磨珠与研磨后的有机聚合物分离，筛分机的筛网孔径为1-1.2mm。
23.在本发明的一些实施例中，所述步骤s3中，高温合成的具体步骤：
24.将筛分分离后的有机聚合物装入石墨坩埚中，将装配好的石墨坩埚转移至合成炉中，首先采用惰性气体对合成炉的炉腔进行吹扫，惰性气体纯度为99.99999％；吹扫时间为0.5-1h；之后抽真空，使炉腔的真空度至少为1
×
10-5
mbar；进行漏率检测合格后开始升压至60-150mbar；恒压60-150mbar，开始加热，合成炉的炉腔温度在2-4h升温至1000-1200℃，之后恒温5-10h，使有机聚合物在该温度下无氧碳化形成碳源；之后在4-8h升温至2100-2400℃，控制温度恒定在2100-2400℃，恒温时间为20-50h，使碳源和硅源充分参与反应；
25.之后进行降温，使炉腔温冷却至室温，并取出石墨坩埚，得到块状碳化硅；
26.将块状碳化硅进行粉碎处理，并通过分级筛分得到不同尺寸的碳化硅粉。
27.根据本发明第二方面的碳化硅粉，该碳化硅粉采用上述的制备工艺制备而成，所述碳化硅粉具有碳包裹硅的微观结构。
28.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
29.图1是根据本发明一个实施例的碳化硅粉的制备工艺的流程示意图；
30.图2是实施例1制得的碳化硅粉的扫描电镜图；
31.图3是实施例1制得的碳化硅粉的能谱图；
32.图4是实施例2制得的
声明：
“碳化硅粉及其制备工艺的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
421
编辑：中冶有色网
来源：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
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2025年06月13日 ~ 15日 
