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监测真空泵失效的装置和方法、真空度感测器

931   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:33
一种监测真空泵失效的装置和方法、真空度感测器,所述真空泵通过管道与目标装置连接,所述监测真空泵失效的装置包括:真空度感测器,置于所述管道内,在所述管道内的真空度大于预定真空度值时,所述真空度感测器阻挡光透过;激光发射单元和激光探测单元,分别置于所述真空度感测器的两侧,所述激光探测单元探测所述激光发射单元发射的激光;控制单元,在所述激光探测单元未探测到激光时,判定所述真空泵失效。当目标装置为传送腔时,避免由于在传送腔内传送硅片时,真空泵失效时,传送腔内的真空度不符合要求,从而导致硅片被玷污,造成在后段工艺中形成的金属互连线断开或短路的现象。
声明：
“监测真空泵失效的装置和方法、真空度感测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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