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基于CT扫描图像的MEMS结构重构与检测方法

757   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:12
本发明提出了一种基于CT扫描图像的MEMS结构的三维重构与检测方法，以解决现有检测手段检测环境要求高、不能反应其三维形貌的问题，同时保证了MEMS的无损检测。本方法首先采用工业CT技术扫描得到MEMS器件的系列图像，然后进行图像处理并得到其体数据，根据体数据进行表面模型重建，得到MEMS器件的表面三角网格模型。然后对表面模型进行修复，识别并提取其特征信息将器件模型的不同特征划分为不同的特征块，最后对划分好的特征块进行拟合，提取特征参数并导出数据接口文件。通过以上技术手段，实现了MEMS结构的三维尺度结构的准确检测。
声明：
“基于CT扫描图像的MEMS结构重构与检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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