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原子层沉积系统原位实时检测方法及装置

924   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:12
本发明公开了一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置，所述方法包括：在对样片进行原子层沉积成膜时，通过反射式高能电子衍射检测所述样片的表面，以获得检测数据；根据所述检测数据，获得所述样片的原子层沉积反应机理信息。用以解决现有技术中的原子层沉积技术，其反应机理缺乏合适的原位检测技术的技术问题。提供了一种无损的原子层沉积实时检测方法及装置。
声明：
“原子层沉积系统原位实时检测方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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