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半开式循环水回水集水箱

1191   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:39
本实用新型涉及一种半开式循环水回水集水箱，属于化学气相沉积炉技术领域，装置包括集水箱主体，集水箱主体为倒置梯形结构，集水箱主体顶部连接有回水管路，回水管路的数量为至少两个，回水管路一端连接至集水箱主体顶部，另一端连接至沉积炉各降温点，集水箱主体底部连接有排水管道，排水管道用于将循环水排至冷却降温系统，排水管道端部设有过滤器，过滤器用于过滤掉自沉积炉内随循环水排除的杂质。本申请结构能够集中观察循环水出水情况，并对回水进行一定过滤保证回水无污染，提高冷却设备的寿命，同时监测循环水出水温度、流量，出现异常自动报警并停止加热，确保沉积炉冷却效果良好，同时杜绝设备损坏情况。
声明：
“半开式循环水回水集水箱” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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