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锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法

1070   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开了一种锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法，先按BaZr0.2Ti0.8O3的化学计量比，称取原料BaCO3、ZrO2和TiO2，于1200℃烧制BaZr0.2Ti0.8O3即BZT靶材；再将Pt‑Si衬底放入脉冲激光沉积制品台上，将脉冲激光沉积系统的本底真空抽至P＜4.0×10‑4Pa，然后加热衬底至350～750℃；打开进气阀，向系统中通入氧气，在Pt‑Si衬底上沉积得到厚度为150‑300nm的BaZr0.2Ti0.8O3薄膜；再在BaZr0.2Ti0.8O3薄膜上面利用掩膜版制备金属电极，制得锆钛酸钡薄膜压控变容管。本发明锆钛酸钡薄膜压控变容管的调谐率≥60％，测试频率为100kHz，且器件稳定性好，制备工艺简单、电学性能优良，具有良好的应用前景。
声明：
“锆钛酸钡薄膜压控变容管的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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