本发明涉及一种三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备和应用,材料的化学组成为(1‑x‑y)Pb(In
1/2Nb
1/2)O
3‑yPb(Mg
1/3Nb
2/3)O
3‑xPbTiO
3‑zMn,其中x=0.20~0.40,y=0.18~0.60,z=0.003~0.03,包括以下步骤:(a)将MnO
2、In
2O
3、Nb
2O
5、MgO、PbO和TiO
2混合,后依次进行球磨、烘干、过筛、预烧、造粒、压片和烧结,得到Mn‑PIN‑PMN‑PT陶瓷靶材;(b)将SrTiO
3单晶依次置于丙酮、乙醇和去离子水中进行超声洗涤,后干燥,得到衬底;(c)以激光溅射的方式,将SrRuO
3陶瓷靶在衬底上进行沉积处理,后进行退火处理,得到底电极;(d)以激光溅射的方式,将Mn‑PIN‑PMN‑PT陶瓷靶材在底电极有上进行沉积处理,后进行退火处理,得到薄膜材料。与现有技术相比,本发明的薄膜具有纯
钙钛矿结构,且具有优异的铁电和压电性能,以及较高的居里温度和三方‑四方相变温度。
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“三元系弛豫铁电薄膜材料及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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