本发明公开了一种迭代水热法提纯石英砂的工艺及高纯石英砂。所述工艺包括预处理、煅烧、过筛、酸浸和清洗的步骤,其中煅烧和酸浸步骤进行迭代处理。本发明以石英砂精矿为原料,在改进的水热法基础上,通过对关键步骤的科学迭代处理工艺,对石英砂进行提纯,充分发挥了高温煅烧和水热酸浸过程对石英砂的纯化作用,使杂质去除效益得到最大化。本发明得到的高纯石英砂纯度不低于99.998%且杂质含量低于20ppm,能满足半导体行业的使用需求。
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