合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 物理检测技术

> 半导体器件的应力测量装置以及方法

半导体器件的应力测量装置以及方法

652   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 06:32:24
本发明提供的一种半导体器件的应力测量装置以及应力测量方法,涉及半导体技术领域,包括:基台包括相对设置的第一台座和第二台座;第一承接件活动装配在第一台座上,第一承接件上活动装配有至少两个第一滚轴;第二承接件活动装配在第二台座上,第二承接件上活动装配有至少两个第二滚轴;两个第一滚轴相互平行并构成第一平面,两个第二滚轴相互平行并构成第二平面,第一平面与第二平面相互平行,第一承接件的移动轨迹与第一平面垂直,第二承接件的移动轨迹与第二平面垂直。在上述技术方案中,滚轴可以使晶圆试样内的半导体器件内部受到均匀的单轴应力,避免晶圆由于施加外力不当而断裂。
声明:
“半导体器件的应力测量装置以及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
物理检测
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记