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硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法

963   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:30:57
本发明涉及一种硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法，是一种硅片切割废液资源化回收利用。本发明包括：向硅片切割废液中加入稀释剂搅拌，以达到降低粘度和去除铁屑的目的；将反应后的悬浮液进行固液分离；用蒸馏水洗涤固体物料至中性，离心，烘干；将该固体物料与一定量的焦炭混合，放置在1500℃～2000℃的气氛炉中反应，将固体物料中的硅转化成碳化硅；反应制得固体粉料经过氧气气氛炉反应除去过量的焦炭得到高纯碳化硅粉体，将该粉体经分级设备进行分级；对分出的不同粒径的碳化硅粉体进行分号包装。本发明提供了一种工艺简单，回收成本较低的工艺，这不仅有效的避免了切割废液直接排放造成的资源浪费及环境污染，同时还降低了硅片切割的生产成本，是一种变废为宝的技术。
声明：
“硅片切割废液中碳化硅粉体回收提纯方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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