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含砷石英管的资源化处理方法

1075   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:00:02
本发明涉及一种含砷石英管的资源化处理方法，其包括如下步骤：S1、强酸浸泡；S2、混酸清洗；S3、自来水冲洗；S4、废水处理。本发明含砷石英管的资源化处理方法工艺成本低、过程容易控制、设备要求低、实用性强，适用于半导体行业砷化镓生产过程产生的表面含砷石英管的处理，可实现含砷石英管的现场无害化处置和石英管、砷的资源化利用。
声明：
“含砷石英管的资源化处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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