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基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置

865   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:48:54
本发明涉及一种雷达领域，尤其涉及一种基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置。技术问题：提供一种基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置。本发明的技术方案是：一种基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置，包括有废水清理和保护机构、废渣积聚机构和废渣处理机构等；废水清理和保护机构与废渣积聚机构相连接；废水清理和保护机构与废渣处理机构相连接。本发明实现了能够有效对硅基板进行刻蚀，刻蚀时不会损伤硅基板其它部位，并且能够有效的将废液和残渣进行清理收集，达到保护环境，且使得后期驱动线圈的填入不存在问题，从而提高雷达使用寿命，并且确保了雷达准度的效果。
声明：
“基于MEMS方法的激光雷达硅基板刻蚀处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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