本实用新型公开了一种能够同时实现高温度稳定性和高频的声表面波滤波器,结构包括压电基片、输入叉指换能器、输出叉指换能器和波导层,输入叉指换能器和输出叉指换能器设于适合高频、正温度稳定性的切向是(0、47.3、90)的四硼酸锂材料的压电基片表面,在压电基片、输入叉指换能器和输出叉指换能器上覆盖一层与压电基片温度互补的材料的波导层。输入叉指换能器利用压电效应,在压电基片中激发声波完成电声转换。输出叉指换能器利用逆压电效应,接收声波,完成声电转换。通过本实用新型从滤波器结构方面的改进,通过控制ZnO的厚度改善乐甫波滤波器的温度稳定性,结合LBO的传播速度高的特点,实现高频滤波器。
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