合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销

半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销

1019   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:52:32
本实用新型公开了一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销，包括：盖板本体，所述盖板本体的内部设有锥形结构的销孔且盖板本体的下部设有加热器，所述销孔延伸至加热器内部且销孔内部设有限位挡圈，所述销孔内安装有提升销本体且提升销本体由销帽和销杆组成，所述销帽呈圆锥形结构设置且销杆呈圆柱形结构设置。本实用新型中的提升销本体采用陶瓷材料制成，且由销杆和销帽组成，销帽呈锥形结构设置并与销杆之间一体成型，锥形结构的销帽能够与销孔之间贴合，从而减小了间隙，防止制造过程中有大量气体从销帽跟加热器盖板间隙流入带走一些热量，预防销帽处温度较低，钽酸锂晶圆提升销点位置厚度低的问题。
声明：
“半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：多功能的智能电子手链
下一个：双头摇匀机

与 “半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销” 相关技术

▪ 改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪ 高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪ 冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术
▪ 稀散多金属采选冶废弃物减量化、资源化与污染控制及环境管理研究
▪ 含稀土废料界面分选与全组份资源化深度利用
▪ 固态储氢及复杂合金的真空电磁热场熔炼炉
▪ 李红旗镁合金导电抗蚀功能涂层
▪ 使用寿命长的金属超声波探伤仪
▪ 磁性球磨机转筒结构
▪ 能够提升分离效果的筛砂机振动筛料斗

相关加工设备推荐

低氧高纯钛锭
气缸密封油膏
铅及铅合金板-平板
立轴行星式搅拌机
真空熔炼气雾化制备粉末材料生产装备
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪改善铝钛硼细化剂组织性能的方法
▪高性能低损耗铁基软磁复合材料
▪冶炼行业污酸及料液中氟氯去除技术
▪稀散多金属采选冶废弃物减量化、资源化与污染控制及环境管理研究
▪含稀土废料界面分选与全组份资源化深度利用
▪固态储氢及复杂合金的真空电磁热场熔炼炉
▪李红旗镁合金导电抗蚀功能涂层
▪使用寿命长的金属超声波探伤仪
▪磁性球磨机转筒结构
▪能够提升分离效果的筛砂机振动筛料斗

报名参会
更多+

第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年08月20日 ~ 22日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:207
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:118
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:110
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:105
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:102
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:89
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:88
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:86
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:75
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:66
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
8石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
9水性环氧树脂分散体及其制备方法
10具有多组分仿生层级结构的碳纤维、制备方法及复合材料
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记