本实用新型公开了一种真空阀以及抽真空的控制系统,涉及锂离子电池制造工艺技术领域。真空阀包括蝶阀,以及驱动蝶阀调节开合度的驱动机构;驱动机构固定在安装座上,安装座上设置支撑座,蝶阀固定在支撑座上;蝶阀包括设有通孔的阀体,在通孔内通过旋转调节通孔开合度的活动部件;活动部件的转轴一端依次贯穿阀体、支撑座,然后与驱动机构连接,另一端与阀体转动连接。本实用新型能快速完成关闭动作,将真空腔体与抽真空装置断开,保证真空腔体内平稳的真空度;其能满足抽真空工艺要求,提升抽气装置的可靠性。
声明:
“真空阀以及抽真空的控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)