本实用新型提供了一种高分辨扫描
电化学显微镜(SECM)探针,包括:主体支撑结构、悬臂梁、导电纳米针尖和外接导线;所述导电纳米针尖设置于悬臂梁顶端;所述悬臂梁与外接导线在主体支撑结构内部相连接;所述导电纳米针尖的直径≤100nm。本实用新型避免了常规SECM针尖在锂离子电池体系中会与电池体系反应的问题,通过纳米级导电针尖,可以得到高质量的纳米级分辨率形貌成像,且除了针尖尖端外,探针整体绝缘,成像时避免了探针在液下的大范围放电问题,实现了纳米级分辨率的电流分布成像。
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