本实用新型涉及蓝水晶衬底,尤其涉及一种复合蓝水晶衬底基片及其制备方法。复合蓝色水晶衬底基片,包括蓝色水晶晶片(α-SiO2),在蓝色水晶晶片(α-SiO2)表面复合设有一层硅酸锂(γ-Li2SiO2)。本实用新型是利用气相传输平衡方法制备而成的,该复合蓝色水晶衬底基片(Li2SiO2/α-SiO2),克服了传统的蓝宝石衬底基片(Li2AlO2/α-Al2O3)价格高,硬度高,不易加工等缺点,划片的成品率在90%左右。
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