本实用新型涉及
锂电池领域,特别涉及一种金属
复合材料制备装置,所述金属复合材料制备装置包括沉积腔体和独立设置于所述沉积腔体内的基台及多个独立设置且气压可调的蒸发腔;所述蒸发腔内设置有放置蒸料的蒸发位,所述基台上用于放置待沉积基底,所述蒸料由蒸发位蒸发并沉积在所述待沉积基底之上。利用上述可金属复合材料制备装置,提高多元材料共蒸发的可控性,从而更精准地控制金属或金属化合物蒸料的蒸发速率,以提高所述蒸发沉积的沉积物中蒸料比例范围及蒸发沉积的均匀度。
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