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共蒸发装置和制备电极的设备

645   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:40:55
本实用新型涉及锂电池技术领域，尤其涉及一种共蒸发装置和制备电极的设备。本实用新型的共蒸发装置包括多个蒸发位、蒸发腔、至少一挡板以及基片台，多个蒸发位、挡板及基片台均收纳在蒸发腔内，多个蒸发位和基片台分别位于挡板的两侧，至少一挡板形成有一汇流口，多个蒸发位用于安装多个相同或者不同的蒸料，多个蒸发位上的多个蒸料蒸发产生的多个原子汇合在汇流口处形成一混合沉积源，基片台用于承载基片且相对于汇流口可移动。本实用新型的共蒸发装置和制备电极的设备可以同时进行多种蒸料的蒸发沉积镀膜，结构简单，操作方便，生产效率高，符合大规模生产的需求。
声明：
“共蒸发装置和制备电极的设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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