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三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法

741   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:32:08
本发明涉及一种三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法，所述三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法，包括如下步骤：(1)将化合物1与MCl4进行反应，制备化合物2；(2)将化合物2与HNR1R2进行反应，制备化合物3；(3)将化合物3与化合物4进行反应，制备所述三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物。上述合成方法通过合理设置各反应步骤，能够有效提升合成的收率，且原料安全易得，避免使用丁基锂，既大大提高反应的安全系数，又避免在反应中引入杂质金属，便于产物的纯化，能够满足半导体产业对其前驱体源纯度的要求。同时操作简单，无需对中间体进行分离，路线绿色环保，适合工业化放大生产。
声明：
“三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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