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基于薄膜键合的可调谐FP滤光片的制备方法

969   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:30:35
本发明属于薄膜光谱滤波器制备工艺技术领域，具体涉及一种基于薄膜键合的可调谐FP滤光片的制备方法，包括以下步骤：①下金属反射层制作：基底采用热蒸发或离子束溅射镀膜方法制备FP滤波器下金属反射层；②铌酸锂薄膜通光层制备：采用离子注入、键合剥离方法制备；③上金属反射层制备：采用磁控溅射的方法制备；④上金属反射电极图形化制备：采用光刻、离子束刻蚀工艺制作上金属电极结构，完成可调谐FP滤光片制作。本发明方法克服了现有滤光片中心波长难以调谐的问题，且制作工艺简单，易于调控，可实现线列、瓦片式多谱段滤光片。
声明：
“基于薄膜键合的可调谐FP滤光片的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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