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氧化硅的制备方法

646   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:30:32
本发明提供一种氧化硅的制备方法，通过该方法可以控制氧化硅中氧的量。所述氧化硅的制备方法可以包括：将硅和二氧化硅混合并放入反应室内、降低反应室的压力以获得高真空度同时将反应室内的温度升高到反应温度、以及在还原气氛下使硅和二氧化硅的混合物反应。
声明：
“氧化硅的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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