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酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法

1087   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:29:15
本发明涉及一种酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下反应路线：其中，M为碳数5～7的环烷基，R1为氢原子或烷基，R2为烷基；所述制备方法包括如下步骤：c)向第一溶剂中通入卤甲烷，得到含卤甲烷的第一溶剂溶液；d)在惰性气体条件下，将金属锂和式Ⅳ化合物加入到第一溶剂中混合，滴加步骤c)制备的含卤甲烷的第一溶剂溶液，搅拌，反应，纯化，得到式Ⅲ化合物；f)将式Ⅲ化合物和缚酸剂加入到第二溶剂中混合，并滴加式Ⅱ化合物，经酯化反应，纯化，得到式Ⅰ化合物。本发明制备方法得到的树脂单体为一种酸敏感光刻胶树脂单体，得到的产物收率高，纯度高，杂质少。
声明：
“酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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